真空设备检漏
一个真空系统,经相当长时间抽气之后,仍然达不到预期的真空度,可能的原因有:抽气情况不良,即抽气系统本身的问题。放气,即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气,即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。至于漏气是检漏技术所要解决的问题,即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。确定漏气率。找出泄漏部位,以便修补堵漏。
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氦气
氦气穿透能力强,且易,环保柜氦测漏系统,对漏点有很好的检出能力,可让细微小洞无处可逃。氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为氦原子的尺寸很小。用氦气穿过小洞而进入到管壳内部,氦气检漏方法能够检测出尺寸很小的小洞,灵敏度可与性检漏方法匹敌,但要比性检漏方法简便。氦气检漏方法:首先把封装好的元器件放入充满氦气的容器中,并加压,让氦气通过小洞而进入管壳中;然后取出,并用压缩空气吹去管壳表面的残留氦气;接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的氦气。
真空检漏
超声波法
该方法实际上是听音法的一种。它是将泄漏声音中可听频率部分截掉,仅仅使超声波部分放大,以检测出泄漏。检测时,可以直接使用超声波检测器,根据检测仪表指针是否摆动,确定有无泄漏。也可以采用使超声波回到可听频率范围内鸣笛的方法。采用后一种原理制造的超声波转换器不仅在被试验物加压时可以使用,在抽真空时,由于吸入的空气发出超声波,因而,采用真空法时也可以使用。
超声波转换器由于只检测超声波部分,在普通工厂的噪音条件下,不受明显干扰,因此检漏效果很好。
该法的灵敏度与被试验物体的加压、减压状况、泄漏的大小、泄漏点与检漏器(探头)间的距离等因素有关。当泄漏点与探头距离很近时,超声波转换器的灵敏度可达1′10-2cm3/s。
检漏时将检漏器的灵敏度调到较大,一边移动探头,一边侦听,使能听到的超声波发出的声音达到较大。然后,再寻找发出超声波的位置,以便确定泄漏点。但在探头不易接近的地方出现泄漏时,就很准确地判断出泄漏点。这种方法操作简便,人为因素较小,不同检测人员所得到的检测结果基本相同。
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