匀胶机
调速范围和时间:
I档:50~10000转/分,时间0~999s
II档:50~10000转/分,时间0~999s
适用:直径5~100mm硅片及其他材料匀胶
转速稳定性:±1%
胶的均匀性:±2%
电极功率:40W,单相110~240V
真空泵抽气速率:>60L/min
热板
温度:0~300℃
温度稳定性:±1℃
功率:850W
台面大小:200x200mm
前烘
1)将涂布好SU8光刻胶的硅片放置在热板上,进行预热烘烤,去除光刻胶中的挥发性有ji溶剂,时间和温度根据光刻胶厚度进行调整。(举例说明:目标胶厚度50um ,桌面光刻机报价,设置温度65℃,烘烤15min,然后温度95度,烘烤15分钟)
曝光
1)将预热后的硅片放置在桌面光刻机托盘上。
2)使用相应的掩模(掩膜)放置在硅片上进行曝光,曝光时间和强度根据SU-8光刻胶的类型和厚度进行调整。(举例说明:目标胶厚度50um,设置曝光能量25mw/cm2,时间12s)
后烘
将曝光后的硅片放置在热板上,进行后曝光烘烤,以确保光刻胶的交联反应完成。(举例说明:目标胶厚度50um,金华桌面光刻机,设置温度65℃,烘烤7min,然后温度95℃,桌面光刻机企业,烘烤3min)
六、显影
将硅片放入显影剂中,使未曝光部分的光刻胶溶解,形成模具的图案。(显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整,此处显影时间20min)
清洗
将显影后的硅片用异bing醇溶剂进行清洗,去除多余的光刻胶。
检查
使用显微镜检查制备的SU-8模具,测试观察制备的微结构尺寸,确认图案的清晰度和质量。
显影机是一种用于显示图像的设备,通常用于医学、科学、艺术等领域。定制显影机需要考虑多个因素,包括显影机的类型、分辨率、色彩深度、显示模式、接口类型等。首先,需要确定显影机的类型,例如,是用于医学成像还是用于科学研究。其次,需要考虑显影机的分辨率,分辨率越高,图像的细节就越清晰。此外,桌面光刻机,还需要考虑色彩深度,色彩深度越高,图像的颜色就越丰富。还需要考虑显示模式和接口类型,以确保显影机能够满足用户的需求。
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