使用方法该设备操作简单,易于上手,具体操作如下:
一、曝光前准备工作
1、硅片处理:确保待曝光硅片经过匀胶处理,显影机,表面干净平整,没有明显的污渍或破损。
2、选择光刻板:根据项目需要,选择合适尺寸的光刻板,本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。
3、设备检查:仔细检查设备,确保所有部件处于正常工作状态,确保操作环境良好。
顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案。
顶旭桌面微型光刻机,专为微米级图案制作而设计,旨在保障卓yue的图形转移精度。设备采用紫外LED冷光源,结合双非球面石英透镜,可生成半角<2°的平行光,相较传统接触式曝光机,其极zhi紧凑的体积将移形换影置于桌面之上,为操作提供了便利与精zhun。
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曝光操作步骤
1、安装硅片:将待曝光硅片平放在设备的载台上,确保位置准确。
2、放置光刻板:将光刻板平放在硅片上方,如果使用菲林掩膜,需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。
3、设定曝光参数:使用控制面板设置曝光时间和强度,根据具体需求进行调整。
4、启动曝光:确认参数设定无误后,点击启动按钮,设备将开始进行曝光。
5、监控曝光过程:在曝光过程中,您可以通过设备界面监控曝光进度,确保一切顺利进行。
6、曝光完成:曝光结束后,设备会发出提示,取出硅片和光刻板。
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