显微镜
观察头:铰链式三目观察头,30°倾斜,瞳距48~75mm目镜:超大视野目镜 10X/22无xian远平场消色差物镜:4X/0.1,10X/0.25,20X/0.4,40X/0.65转化器:四孔转换器载物台:载物台面积300×268mm,移动范围250×250mm焦距调节:同轴粗微动调焦机构,行程24mm照明系统 :6V20W卤素灯,亮度可调滤色镜 蓝色、黄色、绿色、磨砂玻璃片
微流控芯片加工设备: 提供丰富多样的微流控芯片加工设备,涵盖SU8模具加工、PDMS芯片加工和玻璃芯片加工。可以帮助客户在自己的实验室内进行微流控芯片的快速制作,从而提高实验效率和灵活性。
SU8模具制备流程
1.备片
从化学品存放区取出清洁的硅片(确保硅片表面无尘)。
2.匀胶
1)打开匀胶机,将硅片放置在匀胶机托盘上,SU8光刻机企业,打开真空开关,徐州SU8光刻机,确保硅片固定在托盘上不动;
2)将SU8光刻胶滴在硅片中间,根据光刻胶的厚度和制备要求设置匀胶机转速和时间。(举例说明:目标胶厚度50um,光刻胶型号:SU8-2075,1段500转8s,2段1800转30s)
3.前烘
1)将涂布好SU8光刻胶的硅片放置在热板上,SU8光刻机价格,进行预热烘烤,去除光刻胶中的挥发性有机溶ji,时间和温度根据光刻胶厚度进行调整。(举例说明:目标胶厚度50um ,设置温度65℃,烘烤15min,然后温度95度,烘烤15分钟)
4.曝光
1)将预热后的硅片放置在桌面光刻机托盘上。
2)使用相应的掩模(掩膜)放置在硅片上进行曝光,曝光时间和强度根据SU-8光刻胶的类型和厚度进行调整。(举例说明:目标胶厚度50um,设置曝光能量25mw/cm2,SU8光刻机优点,时间12s)
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日常维护
1、定期清理平行曝光机的载台,防止它们因积尘或灰尘而影响加工。
2、保持曝光机的表面清洁,防止灰尘和杂质进入设备内部。
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