氢气检漏法的基本原理
氢气检漏法是一种用5%的氢气和95%的氮气的混合气作为示踪气体进行检漏,称作氢氮混合气检漏法,或氢气检漏法。5%氢气与95%氮气的混合气体是不可燃的(ISO10156),无毒性和腐蚀性,也不会对设备和环境产生不利影响。氢气作为检漏使用的示踪元素,有着很多的优点。
氢的分子量与氦气相近,是所有化学元素中分子量较轻的元素,有很好的扩散性,逃逸性很强,吸附及粘滞性很低。由于氢分子移动速度要高于其他分子,因此使用安全的低浓度氢气作为示踪气体,可以有着更快的响应速度和更好的检漏精度。基本工作原理是使用专门开发的氢气传感器,它只对氢气有响应信号,而对其他气体没有响应,属于唯1性检漏性检漏方法。一旦出现信号响应,氦测漏设备,说明有氢气通过漏孔进入被检件中,从而指示漏孔的位置与大小。同时,由于氢气在一般环境中的含量浓度都非常低,所以不会因本底污染而导致误报警。
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氮气和氢气的混合气的用途
电子器件生产工艺中的应用在电子器件生产工艺中,为减少电能消耗,降低成本,都在研发和使用各种混合气。其间,以使用氮氢混合气为。用液氢和液氮汽化来取得氮氧混合气的办法,因为选用了液化后再汽化的工艺,板式换热器氦测漏设备,故其投资和成本均较高。若从大型联合企业的副产物取得液氢和液氮,其成本要比电解氢和“空分”氮取得的氢气与高出几倍。由液氨分解取得的氮氧混合气,因为液氮来源不同,大多数质量较差,其间仍含有未分解的氨、水和氧等杂质。此外,液氮多来源于化肥厂,供应上较严重,包膜式氦测漏设备,故成本也较高。
氢气检漏设备
(1)检漏仪:采用上述工作原理制造的氢气检漏仪,真空箱式氦测漏设备,由于氢气的上述性质,其灵敏度可以达到与氦检相同水平。(2)示踪气体充注控制器:对于批量生产的用户,好采用示踪气体充注控制器进行抽真空/充气/排气操作,可以完成对检测管道的充气和排气过程自动化控制。
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