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东莞市大凡光学科技有限公司
主营：标定板,标定块,光刻高精度靶
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光刻高精度靶，也被称为高分辨率测试靶或分辨率靶，光刻掩膜工艺，是微电子技术中用于校准和测试光刻系统分辨率的关键工具。以下是对光刻高精度靶的详细介绍：一、定义与用途光刻高精度靶是一种设计有精细图案的校准片，用于测量和评估光刻系统的分辨率能力。通过将这些靶片置于光刻机下曝光，可以直观地观察并测量出光刻系统能够达到的线宽或特征尺寸，从而评估其分辨率性能。二、技术特点高精度：光刻高精度靶的图案设计非常精细，分辨率可达到数千线对每毫米（lp/mm），甚至更高。这种高精度确保了测试结果的准确性和可靠性。负片图案设计：靶片上的图案通常采用负片设计，即图案部分不透明，背景部分透明。这种设计有助于在曝光过程中形成清晰的对比度，便于观察和测量。优异的尺寸稳定性：靶片基底材料经过特殊处理，光刻掩膜，具有优异的尺寸稳定性，能够在不同环境条件下保持图案的性。多种图案可选：为了满足不同测试需求，光刻高精度靶通常提供多种图案选择，如线条、星状、方格等。这些图案可以覆盖不同的分辨率范围和测试场景。
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