由于IC芯片比较精密主要由微型电子器件或部件构成。采用一定的工艺,把一个电路中所需的晶体管、二极管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起,制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上,然后封装在一个管壳内,成为具有所需电路功能的微型结构;其中所有元件在结构上已组成一个整体,使电子元件向着微小型化、低功耗和高可靠性方面迈进了一大步。但越精密的电路,检测难度就越复杂。当前芯片检验的常用方法通常是将芯片层层剥开,再用电子显微镜对每一层表面进行拍摄,这样检测方式对芯片具有极大破坏性,此时,X-ray无损检测设备可提供解决方案。
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在凝固过程中,由于凝固收缩或气体存在,铸件产生孔隙,导致铸件不够紧密。铸件疏松通常发生在内浇道附近壁的厚度转接处、飞冒口根部的厚度和平面较大的薄壁上。X射线检测设备可以发现这个缺陷,在X射线检测图像中严重呈丝状,通常呈浅色云状。
一般来说,滨松平板探测器,缺陷不会影响产品的正常使用,但在精度严格的科学研究中,产品质量非常重要。为了保证铸件的质量,可以使用X射线检测设备和超声波无损检测来检测铸件。
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射线无损检测技术大致可以分为三大类:基于2D图像的X射线检测分析技术;基于2D图像,具有高放大倍数的倾斜i视图的X射线检测分析技术;3DX射线检测分析技术。前两种属于直射式光学检测技术,后一种属于断层刨面检测技术。
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