超纯氩气的制备是一个涉及多学科知识和复杂技术流程的过程,其质量的优劣直接取决于制备工艺。
目前,工业上常用的超纯氩气制备方法主要包括低温精馏法和吸附分离法。
低温精馏法是基于氩气与其他气体在沸点上的差异,通过将空气深度冷却并进行多次精馏分离,逐步提纯氩气。这一过程需要准确控制温度、压力和精馏塔的操作参数,以确保氩气能够与氧气、氮气等组分有效分离。
吸附分离法则是利用特定吸附剂对不同气体分子的选择性吸附特性,将氩气从混合气体中分离出来。新型吸附剂的研发和应用不断推动着吸附分离技术的进步,提高了氩气的纯度和回收率。
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超纯氩气是主要的工业原料,也是重要的工业气体和特种气体,超纯氩气的作用很多,下面小编来给大家介绍超纯氩气的作用。
1:超纯氩气在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;
2:用过系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体。
3:化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用
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超纯氩气的使用行业比较广泛,今天就跟小编一起来看看具体都有哪些行业吧?
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