金刚石的成核机理
在研究金刚石的成核机理等基础理论方面是较为完善的一种。尽管合成速度较慢约为1~2um/h,但沉积的金刚石薄膜质量高,与基体结合好。
近发展的等离子体辅助热丝CVD法(EACVD),不仅获得远比一般热丝CVD法更高的沉积速度(10—20um/h),而且金刚石膜的质量得到显著提高。
先将真空室抽成真空,再将热丝加热到1800℃~2400℃的高温,通往含碳气源和H2,气体通过热丝时被分解成原子H,电镀金刚石磨边轮价格,CH3,C2H2等基团,这些活性基团在800℃~1100℃的基体上反应形成金刚石晶核,再生长成金刚石膜。其中丝的材质、温度、丝与基体间的距离、气体种类比例、基体温度等对金刚石形核和生长都影响。
金刚石锯片的选择参数标准:
金刚石粒度的选择:当金刚石粒度粗且为单一粒度时,锯片刀头锋利,锯切,但金刚石结块的抗弯强度下降;当金刚石粒度细或粗细粒度混合时,锯片刀头耐用度高,但效率较低。综合考虑以上因素,选择金刚石粒度为50/60目较为适宜。
油石、磨石:油石是用磨料和结合剂等制成的条状固结磨具。油石在使用时通常要加油润滑,故名。油石一般用于手工修磨刀具和零件,也可装夹在机床上进行珩磨和超精加工。油石有人造的和天然的两类,形状很多。本文并没有再对油石进行分类,同样使用属性来区分。
影响金刚石成核生长的两方面
磨料磨具中从影响金刚石成核生长的热力学和动力学方面考虑,主要有:衬底(基片)材料、衬底(基片)的预处理、衬底(基片)的炉内处理、沉积气源(气体中碳的浓度)、衬底(基片)温度、气体压强以及氢原子在沉积中的作用。
在这些因素中,对成膜的质量,沉积速率都有影响,但是由于沉膜过程的复杂,各种不同的制备方法与工艺参数又互相关联,彼此之间又有差异,各工艺参数对学和金刚石膜的质量和沉积速率的影响都还没有特定的规律和精辟的解释。
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