真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。立式结构的进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。但泵的较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。
结构紧凑,泵的转数较高,一般可与电动机直联,无须减速装置。故用小的结构尺寸,可以获得大的排气量,占地面积也小。立式结构的进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。但泵的较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。为了使用方便和真空工艺过程的需要,将各种真空泵按其性能要求组合起来,以机组型式应用。真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态。
真空泵应安装在地面结实坚固的场所,真空泵厂家,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、保养。如真空泵口安装电磁阀时,阀与真空泵应同时动作。随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,根据不同的工作压力范围和不同的工作要求,使用不同类型的真空泵。真空泵与系统的连接管道应密封可靠,对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,对小真空泵可采用真空胶管连接,
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