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X 射线荧光光谱仪的不断完善和发展所带动的X 射线荧光分析技术已被广泛用于冶金、地质、矿物、石油、化工、生物、、刑侦、考古等诸多部门和领域。X 射线荧光光谱分析不仅成为对其物质的化学元素、物相、化学立体结构、物证材料进行试测,对产品和材料质量进行无损检测,对人体进检和微电路的光刻检验等的重要分析手段,也是材料科学、生命科学、环境科学等普遍采用的一种快速、准确而又经济的多元素分析方法。
光谱仪( Spectroscope)是将成分复杂的光分解为光谱线的科学仪器,由棱镜或衍射光栅等构成,利用光谱仪可测量物体表面反射的光线。阳光中的七色光是肉眼能分的部分(可见光),但若通过光谱仪将阳光分解,按波长排列,可见光只占光谱中很小的范围,其余都是肉眼无法分辨的光谱,如红外线、微波、紫外线、X射线等等。通过光谱仪对光信息的抓取、以照相底片显影,或电脑化自动显示数值仪器显示和分析,从而测知物品中含有何种元素。
主要使用X射线束激发荧光辐射,英飞思,次是在1928年由尔和施雷伯提出的。到了现在,该方法作为非破坏性分析技术,并作为过程控制的工具,广泛应用于采掘和加工工业。原则上,轻的元素,可分析出铍(z=4),但由于仪器的局限性和轻元素的低X射线产量,往往难以量化,所以针对能量分散式的X射线荧光光谱仪,可以分析从轻元素的钠(z=11)到铀,而波长分散式则为从轻元素的硼到铀。
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