和其他产业不同,集成电路产业链几乎所有环节都需要在洁净室内完成,从单晶硅片制造,到IC制造的几乎所有环节,到IC封装都需要在洁净室中完成,且对于洁净度的要求非常高。如,14纳米工艺中7纳米的微粒就会影响制造过程。集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高,对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环,直接决定了终产品的成败。
净化方案三:分体空调柜机+FFU送风口:这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内,并用彩钢围护起来,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);佰伦风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。方案特点:A、无尘车间的洁净度:LCD制屏的简略流程为:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。 B、温湿度要求:温度一般为24+2℃,电子净化车间,相对湿度为55+5%。 C、新风量大 D、送风量大
洁净系统方案:系统流程:新风经过滤后与回风混合,进入风冷空调机,通过中效过滤器,经末端低阻力高效过滤器后将符合温湿度、洁净度要求的空气送入洁净室。气流组织:1万级间全部采用上送两侧回风,电子净化车间施工,车间内利用柱位、侧墙做技术夹层回风道,接回风管道至空气处理机组。空气经粗、中高三级过滤器和温湿度处理后送入净房。新风系统进行组、中、二级过滤,以确保空气的含尘浓度较低,电子厂净化车间工程,减少外部尘源影响,提高洁净室的净化效果,并大大延长高效过滤器的使用寿命,电子净化车间,减少运行维护费用。新风量根据人员卫生新风要求(每人新风量>35m3/h),并保证洁净室内正压的要求经计算确定。(人员在20人以内)。系统排风:有设备排风及工艺要求的房间排风,此系统由甲方确定方案。
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