和其他产业不同,集成电路产业链几乎所有环节都需要在洁净室内完成,电子厂房净化车间,从单晶硅片制造,到IC制造的几乎所有环节,到IC封装都需要在洁净室中完成,且对于洁净度的要求非常高。如,14纳米工艺中7纳米的微粒就会影响制造过程。集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高,对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环,直接决定了终产品的成败。
洁净空调系统设计原则:投资合理原则:初投入符合经济节约的原则,电子净化车间,又满足各生产岗位对温度、湿度、洁净度等洁净环境的要求;运行经济原则:考虑节约能源、运行可靠、维护简单,减少日后运行及维护费用。节约的运行费用符合长期的经济原则。技术原则:净化系统送风口采用定风量阀设计,配合环境监测系统,保证洁净区各参数恒定,节省能耗。耐用原则:壁板选用PU彩钢板;主机等主要材料选用有名的厂家品牌。
洁净系统方案:系统流程:新风经过滤后与回风混合,进入风冷空调机,通过中效过滤器,经末端低阻力高效过滤器后将符合温湿度、洁净度要求的空气送入洁净室。气流组织:1万级间全部采用上送两侧回风,电子净化车间施工,车间内利用柱位、侧墙做技术夹层回风道,接回风管道至空气处理机组。空气经粗、中高三级过滤器和温湿度处理后送入净房。新风系统进行组、中、二级过滤,以确保空气的含尘浓度较低,电子净化车间设计,减少外部尘源影响,提高洁净室的净化效果,并大大延长高效过滤器的使用寿命,减少运行维护费用。新风量根据人员卫生新风要求(每人新风量>35m3/h),并保证洁净室内正压的要求经计算确定。(人员在20人以内)。系统排风:有设备排风及工艺要求的房间排风,此系统由甲方确定方案。
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