广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦分子泵TwisTorr 704FS
Agilent SH-110全密封干式涡旋泵具有业内的真空获得性能,结构紧凑,能够轻易地实现与现有、生产设备的真空系统相集成。此型号单级涡旋泵具有110升1分钟的抽速(60Hz电源条件下),可获得50mTorr(约67Pa)的极限真空,即使单独作为粗真空获得设备也是理想的选择。SH-110涡旋泵符合CE、CSA以及Semi S2-0200等多种标准。
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分子泵出现工作压力起伏大的原因和处理方法
故障剖析:吸进管道漏汽;泵挤出机螺杆与泵套不一样心;阀门沒有校准好,安捷伦分子泵TwisTorr 704FS,或压力过大,使安全法时开落闭。
解决方法:检查管道并维修好;维修调节或拆换;再次校准阀门或减少压力。
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Agilent Turbo-V81-M安捷伦涡轮分子泵对应的控制器Agilent Turbo-V81-AG,带显示,快速维修
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