特种气体的储存注意事项:根据储存的气体类型设置标牌,如“严禁明火”、“危险”、“禁止入内”等等。并配置消防器材、喷淋系统、吸收剂、中和剂、防毒面具、空气呼吸器等设施。特种气体主要包括高纯气体、电子气体、标准气体三大类,电子特种气体(简称电子特气)是特种气体的 一个重要分支,特种气体供应商,是超大规模集成电路(IC)、平面显示器件(LCD、LED、OLED)、太阳能电池等电子工业生产不 可或缺的原材料。特种气体的重要性:电子特种气体决定了集成电路的终良率和可靠性。由于电子气体用途多,用量大。所以电子气体也直接决定了 终芯片的良率和可靠性,
气体产品大致可以分为两大类别, 即一般工业气体和特种气体。一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。自80年代1开始,我国的气体工业迅速发展,各类纯气体、高纯气体、特种气体、混合气体、标准气体、电子工业用气体等相继问世,其品种数目已与国外发达国家水平相近。随着国产化的推进,部分种类的电子特种气体慢慢形成规模效应,特种气体销售,占据市场半壁江山。一些常规的特气产品,特种气体厂家,中国的产能甚至可以满足范围内的需要,但需清醒的看到,从竞争力,质量管理,品牌效应方面来说,我们仍然处于低水平区间。
目前,国内共有特种气体生产企业达150余家,南京特种气体,多数企业生产规模较小。跨国企业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司,占国内销售气体产品市场份额的70%左右。硅片的蚀刻气体(特种气体)主要是氟基气体,包括四氟化碳、四氟化碳/氧气、六氟化硫、六氟乙1烷/氧气、三氟化氮等。有气体仓库贮存。气瓶仓库应通风干燥、清洁, 避免阳光直射, 气瓶库应清楚明“气瓶贮存”字样, 显示适当的危险标记(例如、、有毒等) 。
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