氦质谱检漏仪用于对容器或器件的密封性进行检测,对被检件泄漏点进行定性、定量和定位的检测。仪器利用内置的真空系统,将被检气体抽入到仪器内部,然后将该混合气体离化,家电行业检漏设备,并将离子加速送入磁场当中,利用带电离子在磁场中的偏转效应,使氦离子与其它离子分离,通过对此氦离子信号的接收、放大和显示,从而反映出被测器件的密封性。
氦质谱检漏仪是如何工作的?氦质谱检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的,我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。在质谱室的离子源N内,气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成東,并以-定的速度经由缝隙S1进入磁分析器,在均匀磁场的作用下,具有-定速度的离子束,将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束M z恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备,使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束则以不同的偏转半径而被分开。
氦质谱检漏仪主要技术指标:1. 小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率显围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦质谱检漏仪不会受到主观因素判断的影响;检测的数据;自动生成数据保存,可追溯数据来源。氦气检漏仪关键零部件集优采购,保证了系统的稳定性和可靠性;真空箱内氦气本底抑零,保证了检漏的准确性、;
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