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pfeiffer分子泵-广州潽拓光电

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   广州潽拓光电科技有限公司维修PFEIFFER Hipace 400分子泵,HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长.

分子泵应用 HiPace 400: 广泛应用于各个真空行业

镀膜: 光伏, CD/ DVD/ PVD, 光学镀膜, 硬质涂层

工业: 医学技术、工业检漏、电子束焊接、隔离真空、热处理、灯管制造

研发: 核研究, 等离子研究,德国pfeiffer分子泵进口,冷冻研究, 纳米技术, 生物技术

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PFEIFFER 分子泵 XT160-160-001(PUTUOVAC VACUUM)

真空泵使用说明:

1、关闭泵上方的阀门

2、有冷却水的泵接通冷却水。

3、近规定转向手盘皮带轮数圈,把泵腔内的油排入油箱内,确保启动不易喷油。(特别在冬季,油粘大,启动负荷大,故请注意)。

4、启动电动机,泵开动运转,观察油窗,检查油位。油位应在油标中心,油位偏高,会造成喷油;油位偏低,会造成润滑不良,泵极限压力达不到出厂指标。 加油、放油位置详见泵指示牌。缓慢打开泵上方的阀门,系统开始工作。 泵不工作时,pfeiffer分子泵,油窗内几乎看不到油,都进入泵体内,pfeiffer分子泵报错,油位以泵运转时为准。

5、冷却水的进水温度以不超过30℃为宜,进出水温差以不超过3℃为宜。

6、当环境温度低于5℃时,应将泵油放出加热到15-30℃后加入泵内启动工作。

7、泵温以油温减去环境温度不超过40℃为宜,否则应加强通风散热或增加冷却水流量。

8、进气温度高于40℃而使泵温过高时,须采取措施冷却气体。

9、当吸入气体对泵油或泵有影响时,在泵口前应装一个合适的过滤装置。

10、当泵抽除含有少量可凝性气体时,pfeiffer分子泵抽不动,启动泵时应打开气镇阀工作半小时,可延长泵油使用时间。

11、当泵抽除含有颗粒、尘埃的气体时,在泵口前应装一个合适的过滤器。

12、关泵前,应先关闭泵上方的阀门与系统隔绝,然后停泵,再拧紧气镇阀,以防漏油,后关闭冷却水。冬季有冻jie的场合应放净泵内冷却水,以防泵腔冻裂。

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HiPace 80分子泵描述:

准 S2 和 UL/CSA 认证

运行数据监控形成的运行安全性

对于所有气体的高抽吸能力和极高压缩

集成的驱动电子装置,防护类型 IP54 适合于工业用途

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