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压力控制仪通常是由压力给定单元、真空测量单元(真空计)、压力调节单元、驱动电路及真空调节阀等基本单元组成。它具有手动和自动压力调节功能。对于采用分立元件的压力控制仪,其给定单元通常是一个电位器,而压力调节单元通常是具有比例积分( PI)或比例积分微分(PID)运算功能的运算电路;
对于微机化的压力控制仪,其给定单元通常是通过键盘或码盘进行压力设定;而压力调节单元和测量单元合为一体,为一单片机系统,其压力调节功能是利用单片机系统,通过数字PID运算,实现压力调节。至于驱动电路及真空调节阀,同类型的两种不同电路结构的压力拄制仪大致相同。英福康真空计保养
热传导真空计利用气体在不同压强下热传导能力随之变化的原理测量气体压强。在这类真空计中,以一定加热电流通过装有热丝的规头,热丝的温度决定于加热和散热之间的平衡。散热能力是气体压强的函数,故热丝的温度随压强而变化。英福康真空计保养
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表征压力控制仪的主要技术指标是压力控制范围、控制精度、流量控制范围、反应时间等。它取决于其配用的真空规管、控制电路及真空调节阀的性能。压力控制仪广泛应用于离子注入、离子束刻蚀、真空镀膜、激光技术及半导体材料等领域,其使用的环境条件与同类型的真空计大致相同。英福康真空计保养
皮拉尼型真空计利用惠斯通电桥 Wheatstone bridge 的补偿原理,其中的一灯丝作为该电路的其中一个电阻。当灯丝所在的气体分子密度改变时,其热导率会有所不同,因此灯丝所表现的温度也会不同,间接影响电阻值的大小。固定电压,固定电流以及固定温度中以*后一种方法做敏感。值得注意的是,不同气体的热导率不同,inficon英福康真空计哪里有,因此在测量的时候要刻度上需要校对。英福康真空计保养
2. 衍生出两种类型的皮拉尼规
1) 稳定温度,测量施加的电压变化等效测量真空度
2) 稳定电压,测量温度变化等效测量真空度(热偶规)
3. 气体的热传导,与下列提条件有关:
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数据传输多样性:HLD6000可通过可选I/O模块,提供多个模拟和数字接口。配备的可选现场总线模块可实现HLD6000与本地网络的集成。通过USB接口即可将测量数据传输至已连接的USB闪盘驱动器(U盘)
可靠性好:HLD6000采用的是红外线传感器,该传感器具有寿命长,灵敏度高和响应快的特点,于冷媒检测。除此之外,HLD6000配备的双进气口系统技术成熟,可通过频繁对比本底浓度和测量气流,将误报率降至zui低。
由于测量*电缆也是电路的一部分,如果电缆的长度发生变化,电路的电阻值也会发生变化。指示值也会发生变化。(但是,传感器侧带有检测单元电路的不限于此。)
灯丝因为是细的金属线,给予振动,冲击的话,会有断线的危险。
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