真空系统常用名称①主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。②前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。③粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。
真空泵特点(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;(2)转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速;(3)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差;(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。
多级离心真空泵出水管口在出水池正常水位以上 若是出水口在出水池正常水位以上,虽添加了水真空泵扬程,但削减了流量。如因地势条件所限,出水口有必要高出出水池水位,则应在管口加装弯头和短管,使水管变成虹吸式,下降出水口高度。
设底阀时,进水管下一节不是笔直的 如这样装置,阀门不能自行封闭,形成漏水。正确装置办法是:装有底阀的进水管,下一节佳是笔直的。如因地势条件约束不能笔直装置,则水管轴线与水平面夹角应在60°以上。
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