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标准气体、混合气体广泛地应用于基础科学、大气污染、医学诊断、石油化工、冶金地质、原子能、微电子、光电子等诸多领域。
标准气体是供用户作定量标准的,由于标准气体属于标准物质,是量值测定的标准,具有复现、溯源、仲裁、保存和传递量值的作用。
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气体生产装配至少配备下列安全设施:
发生器:温度、压力检测设施;发生器与高位水槽设置液位控制装置;发生器与气柜间设置安全水封;多台发生器的汇气总管与每台发生器之间、接至厂区的管道上设置安全水封或阻火器;发生器岗位设置氮气置换装置和防真空措施;发生器、气柜、管道等设置防冻措施;
压缩机前设置低压安全水封或安全器;
气柜与压缩机设置低限报警联锁装置;
压缩机设置限压报警联锁装置;
压缩机设置安全阀;
净化岗位设置符合要求的冲洗和洗眼设施;
充装排设置充装用冷却喷淋水和紧急喷淋装置;
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液态氦气可以用于制冷,许多超导实验都需要使用液态氦气进行降温处理。
液态氦气就是在极低温度下气态氦气转化而来的液态氦,简称液氦。氦在通常情况下为无色、无味的气体,沸点-268.785℃,它的沸点是已知物质中低的(比氢气还要低)。所以当温度在4.18K时,气体氦气的性质同一般液体一样,加以适当的压力就转化为液态氦气了。实际上液态氦气的制作不仅仅需要低温,要知道氦气是没有三相点的物质,想要液态氦气除了低温之外,还需要一定的压力。
液态氦气沸点极低,当温度降至2.178K时,就转变为一种粘度接近于零的具有流动性的液氦,此时的液态氦气被称为超流体。
液态氦气已实际应用在许多晶圆处理程序步骤中,它可在高压气相化学沉积(HP-CVD)以及蚀刻程序上作为晶背冷却之用,并且它也可用作为携载气体应用在CVD以沉积抗反射层、氧氮化合物及其它薄膜用。
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