什么是流量控制器?
质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM), 是一种准确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,转子流量计价格,不需要温度压力补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
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质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。质量流量控制器的剖面结构图见图1。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,浙江转子流量计,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。气体质量流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理。
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仪表连接管道的振动连接TMF的管道在常见实际范围内的振动不会产生振动干扰,在正常情况下不影响仪表的测量性能。惟插入式TMF的检测杆必须牢固地固定于管道,并避免装在有振动的场所。
脉动流的影响TMF响应时间长,不适应脉动流流量测量。若作测脉动流测量,应了解TMF的响应性,以保证能跟随的上脉动的速度变化。脉动引起的测量误差通常使仪表输出偏高,其程度取决于脉动幅值和频率。
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