氢气管道
在氢气管道方面,氢气管采用无缝钢管制成;管道和管件采用焊接连接,以减少可能的泄漏点。管道与设备的喷嘴、阀门等采用法兰或螺纹连接,并在连接中使用金属丝并定期检查粘接电阻,包膜式氦检漏设备,设备或管道端部是否接地良好;所述管道上设有空管、取样口和吹扫口,其位置满足管道中气体吹扫和更换的要求,系统上设有含氧量小于0.5%的氮气置换吹扫设施;氢气排气管应导至室外,排气口应高于屋顶高处1m以上。在排气口设置阻火器,防止外部火花进入系统造成事故,并采取防护措施,防止雨雪侵入、碎片堵塞、雷击。
真空设备检漏与维修
为什么要检漏
泄漏和密封相对应
很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。
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氢气检漏法的优势
制冷、空调行业检漏技术的现状:在产品部件生产过程中,目前常使用氦检漏技术来查找微小的泄漏,而保压测试和水浴法常被用来检测较大的泄漏。产品装配完成并充入制冷剂之后,可能在出厂前还会使用卤素检漏仪对整个产品再进行一次检漏。由于保压测试和水浴法只能检出10-3mbar·l/s左右的泄漏,因此长期以来,氦检漏技术是制冷、空调行业中的检小漏的手段,吸式氦检漏技术一般可以检出10-7mbar·l/s左右的泄漏。但是,以氦气作为示漏气体,也有一些不足之处,例如橡胶、塑料等有机材料常常会吸收氦气,在吸收后慢慢地释放出来;所有的氦气检漏仪器机构的离子收集板,对氦气都会产生记忆效应,即氦离子打到离子收集板上,并储存一定时间,然后再慢慢释放出来,从而造成本底的噪音等问题。
无论是在漏点定位还是在泄漏测试应用,这种检漏方法已经在各个行业领域内得到了广泛使用。与氦气相比,使用低密度的安全氢气作为检漏用的示踪气体具有很多优势。其价格非常低廉,很容易在各个气体供应商处购得。现今的氢氮混合气检漏技术可以检出低至5*10-7mbar/s的泄漏,相当于0.1g/y,其气体使用成本仅是氦气的1/10到1/20,同时氦气检漏法要增加一些辅助设备,如氦气回收系统等。
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