氢气检漏设备
无论是在漏点定位还是在泄漏测试应用,这种检漏方法已经在各个行业领域内得到了广泛使用。与氦气相比,使用低密度的安全氢气作为检漏用的示踪气体具有很多优势。其价格非常低廉,很容易在各个气体供应商处购得。现今的氢氮混合气检漏技术可以检出低至5*10-7mbar/s的泄漏,相当于0.1g/y,真空箱式氦测漏系统,其气体使用成本仅是氦气的1/10到1/20,同时氦气检漏法要增加一些辅助设备,如氦气回收系统等。
真空设备检漏
听音法
气体从小孔中喷出时,会发出声音。声音的大小和频率取决于泄漏率的大小、两侧的压力、压差和气体的种类等。根据气体漏出时发出的声音判断有无泄漏。
该方法的灵敏度很大程度上受环境的影响。若工厂噪音较大,则小的声音就不易听清。使用听诊qi,某种程度上可以消除周围噪音的影响,听清泄漏声音,但有时与泄漏无关的声音(例如电机的声音)也会混杂进来,从而影响检漏灵敏度。为了辨别较小的声音,可用话筒和放大器将声音放大。但此时其它声音也同时放大,多数情况下较难收到好的效果。在检测压力为0.3MPa,周围非常安静的条件下,氦测漏系统,可以听出5′10-2cm3/s的泄漏率的声音。
这种方法既简单、经济。使用听诊qi,在某种程度上可以判断出泄漏点。如单凭耳朵听,往往因声波的反射或吸收,板式换热器氦测漏系统,很难确定泄漏点,即发声地点。由于检测环境条件不同,所得到的结果可能偏差很大。因此,这种方法的稳定性和可靠性很差。应与其它检测法并用。
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氮气和氢气的混合气的用途
电子器件生产工艺中的应用在电子器件生产工艺中,为减少电能消耗,降低成本,都在研发和使用各种混合气。其间,以使用氮氢混合气为。用液氢和液氮汽化来取得氮氧混合气的办法,因为选用了液化后再汽化的工艺,故其投资和成本均较高。若从大型联合企业的副产物取得液氢和液氮,其成本要比电解氢和“空分”氮取得的氢气与高出几倍。由液氨分解取得的氮氧混合气,高压柜氦测漏系统,因为液氮来源不同,大多数质量较差,其间仍含有未分解的氨、水和氧等杂质。此外,液氮多来源于化肥厂,供应上较严重,故成本也较高。
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