洁净室内的架空地板是用来掩盖工具、设备与动力设备之间的电线、通讯电缆、水电、管道的连接的。后来,为了节约成本,在“bay-and-chase”式的洁净室结构中,这些架空地板被当作从港湾到夹层的回内通道。在完全单向气流的洁净室内,人们希望微粒从工作区域流到带小孔的地板下。我们已经成功的建立了10级和100级的洁净室,在这些洁净室内没有架空地板,采用墙下部回风系统,而且洁净室的气流被设计成紊流。另个一种办法是用薄的空气喷射装置隔离超清洁区域,这种空气喷射的速度是每分钟500到800英尺。它的功能类似于塑料门帘。
根据洁净室外的用途,也可以选择其他的设备,例如,在循环风加新风处理系统中,使用HEPA过滤器用碳吸附或相似功能的合成过滤器处理VOC,静电过滤箱,等等。
在洁净车间市场上,风机过滤不再是新产品,正确的应用它可以为许多高水平洁净室提供的、经济的解决方案,尤其是在吊顶高度有限的建筑内。已证明降低成本和减小过滤器的压降(在洁净室寿命期内,使用低等级过滤器,长时间采用高压降方式运转,所带来的效益并不总是十分明显)。
洁净室增压是必须的,它的作用是确保洁净室远离其临近区域的污染,净化空调施工,控制有害污染物的流向,防止不同区域间的交叉污染,并帮助保持所要求的温度和湿度水平。
洁净室与相关走廊、设施内的其他区域的压差应维持在0.25到0.005英寸水柱(in.w.g.)之间。一般制药企业所要求的压差值比这更高,在不同区域之间采用层叠压差来避免交叉污染。在不同的区域间安装一系列的层叠式气闸和允许空气快速扩散的正压门,从而产生压差。好的微电子洁净室设计中,通常在洁净室的入口安装一个半密封的气闸来使压差保持在0.02到0.005in.w.g.之间。更衣间和穿衣间用气闸分离。入口入的机械风淋相对于它的必要性而言,更是设施文化和洁净室的原则问题。
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