实验室用高纯氩气注意啥操作细节?
在实验室使用高纯氩气时,诸多操作细节需留意。
首先,高纯氩气瓶搬运要轻拿轻放,避免碰撞致瓶体受损引发泄漏。使用前,务必检查气瓶阀门、管路连接是否紧密,可用肥皂水检测气密性。
开启气瓶时,要缓慢操作,防止气流冲击损坏仪器。实验过程中,要根据需求准确调节氩气流量,避免浪费或供应不足。用完后,及时关闭阀门,不可让氩气长时间空放。
另外,实验室需保持良好通风,防止氩气积聚,引发窒息风险,确保实验安全进行。
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电子芯片制造对高纯氩气纯度要求多高?
电子芯片制造对高纯氩气纯度要求极高,通常要达到 99.999% 甚至更高。
在光刻工序,氩气作为保护气,防止光刻胶被氧化,微小杂质都可能使光刻图案模糊、缺陷增多,影响芯片集成度与性能。
蚀刻环节,高纯氩气携带蚀刻气体均匀分布,准确去除芯片表面多余材料,纯度不够易造成蚀刻不均匀,导致短路、断路等致命问题。高纯氩气为芯片微观世界里复杂精密的工艺保驾护航,是保障芯片质量高产出的关键因素之一。
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高纯氩气制取的主要原料有哪些?
高纯氩气制取的主要原料是空气。空气中包含约 78% 的氮气、21% 的氧气以及少量氩气、二氧化碳等气体成分。工业上一般采用空气分离法来制取高纯氩气,通过深冷精馏技术,利用各气体组分沸点的差异,逐步将氧气、氮气等分离出去,留下氩气后再进行精细提纯,去除其中微量杂质,蕞终得到高纯氩气,以满足不同领域对其纯度的严苛要求。
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