如何检测超纯氩气纯度?
检测超纯氩气纯度有多种方法。
气相色谱法较为常用,利用不同气体在固定相和流动相中的分配系数差异,使氩气及杂质分离,通过色谱峰面积或高度定量分析,精度可达 ppm 级,广泛应用于工业生产检测。
质谱分析法精度更高,将氩气离子化后,超纯氩气,依据质荷比分离检测,能准确识别各类杂质,常用于科研、电子芯片制造等对纯度要求苛刻领域。
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超纯氩气和普通氩气除了在纯度上不通,它们的使用场景也是不一样的,一起来了解一下吧:
超纯氩气因其极高的纯度,常用于科研、半导体制造、精密仪器制造等领域,要求无尘、无氧的纯净环境。而普通氩气则广泛应用于工业焊接、金属加工等领域,因其稳定性好、成本低廉,成为工业生产的常用气体。
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超纯氩气在哪些高科技领域有重要应用?
超纯氩气在诸多高科技领域发挥关键作用。
在半导体制造中,超纯氩气哪家好,它是一种重要的保护气体。在芯片制造的光刻、刻蚀等工艺过程中,超纯氩气能防止芯片材料与氧气等发生反应,确保高精度加工。例如,在12英寸晶圆的制造过程中,氩气可提供稳定的加工环境。
在光纤制造领域,超纯氩气用于光纤拉丝过程。通过营造无氧环境,避免光纤材料氧化,提高光纤的质量和性能,保障光信号的快速传输。同时,在一些材料的真空镀膜工艺中,高纯氩气作为载气,帮助材料均匀地沉积在基底上,用于制造性能好的光学薄膜等。
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