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半导体设备滑台模组是一种高精度的自动化装置,滑台厂家,主要用于半导体制造和封装等领域的精密加工。其主要由电动机、滚珠丝杠、直线导轨、齿轮齿条等组成,能够实现高速度、高精度的直线运动,具有重复定位精度高、运行平稳、噪音小等特点。在半导体制造过程中,滑台模组可用于晶圆搬运、曝光、刻蚀、清洗等多个环节,提高生产效率和产品质量。
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