真空环境的创造:蒸发镀膜过程需要在高真空环境中进行,以减少气体分子对蒸发材料的干扰,确保蒸气能够直线传输至基材表面。真空系统通常由机械泵、扩散泵、涡轮分子泵等组成,H1050派瑞林镀膜设备哪有订,通过抽气作用将真空室内的气体分子抽出,达到所需的真空度(通常要求达到10^-5 Pa以下)。
蒸发材料的加热:蒸发源是蒸发镀膜设备中的关键部件,用于加热并蒸发镀膜材料。常见的蒸发源包括电阻加热源、电子束蒸发源和激光蒸发源等。电阻加热源通过电流通过高电阻材料(如钨丝或钼舟)产生的焦耳热来加热蒸发材料;电子束蒸发源则利用电子产生的高能电子束轰击蒸发材料,使其迅速加热至蒸发温度;激光蒸发源则使用高能激光束照射材料,使其迅速蒸发。
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