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由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，pfeiffer普发分子泵报价，以满足不同场合的需要。

潽拓维修/维修/保养/销售Pfeiffer普发TMH系列：

TMH064、TMH065、TMH071、TMH200、TMH260、TMH261、TMH262 、TMH301、TMH400MP、TMH520 、TMH521、TMH532、TMH1000、TMH1001、TMH1600、TMH1601、TMH261-130、TMH261-250、TMH261-250-040、TMH261-250P-3P、TMH071-010-005P、TMH071-012-005X、TMH071-012-005X-3P等

从原理上来看，涡轮分子泵是一种在壳体中快速旋转的涡轮，涡轮的各级都配备了多个转子叶片。旋转的转子叶片之间装有固定的定子盘，其叶片按相反方向放置。  

通过旋转的转子叶片将动量传递到气体分子，气体分子zui初的非定向热运动变成定向运动，即从泵的进口延轴方向移动到排气口。

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   真空泵的传动方式：

      真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，pfeiffer普发分子泵公司，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。Pfeiffer 普发涡轮分子泵维护

Pfeiffer 普发涡轮分子泵 SplitFlow 优点

紧凑设计， 占地空间小

对所有气体的高抽吸能力和更高压缩比

集成分子泵控制器

防护类型 IP 54 适合于工业用途

准 S2 和 UL/CSA 认证

运行数据监控保证分子泵运行安全性

电机烧坏

主要为电机定子线圈烧毁，引起原因较多，pfeiffer普发分子泵电话，如瞬间电流过大，电机轴承使用久了被磨损，致使轴承摩擦阻力变大，肇庆pfeiffer普发分子泵，电机功率加大，引起温度上升，烧毁电机。这时应先检查电机轴承，再检查电机线圈。轴承损坏就更换轴承；电机线圈烧毁则应维修电机，重新绕制定子线圈。轴承和线圈损坏严重时，就需更换电机了。Pfeiffer 普发涡轮分子泵维护

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德国普发Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵

HiPace 300-800M，ATH 500 M：抽速范围在300-800l/s的紧凑型磁悬浮涡轮分子泵。

HiPace M和ATH 500 M拥有5轴磁轴承。动平衡装置会进行自动校准，Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵可以Z小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移。低能耗和极低的维护成本确保了其极高的XING价比。

优势：

1.磁悬浮涡轮分子泵任意角度安装

2.集成控制器

3.清洁无油

4.高气体流量

5.低震动及低磁场干扰

6.磁悬浮涡轮分子泵动平衡自动补偿

7.转速范围大

变容积式真空泵的工作原理和优点

（1）往复真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵、好凯德罗茨真空泵是靠活塞往复运动或旋转将气体吸入、压缩并排出。它们的优点是新投入使用的泵真空度相对比较高。  

（2）水环真空泵是靠装在泵壳内的带有多叶片的偏心转子旋转，把水抛向泵壳形成与泵壳同心的水环，水环与转子叶片形成了容积周期变化从而将气体吸入、压缩并排出。它的优点是低真空时抽气量大、可以直接抽吸水蒸汽等可凝性气体。

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