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如何提高流量控制器的准确度?

提高气体质量流量控制器实用准确度的措施为:

1.针对气体质量流量控制器的实际工艺参数,对该流量计进行“个性化标准”,从而实现在实际使用流量点的一定范围内,该气体质量流量控制器的实际测量误差(与标准值的差)趋于零。

2.把好气体质量流量控制器的安装环节,减少或消除机械应力、机械扭力和机械振动等对该流量计使用的影响。

3.考虑工艺压力、温度等对气体质量流量控制器测量准确度的影响。

4.把好气体质量流量控制器的投用关。

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流量控制器

一般而言,涡街流量计多少钱,仅对流量进行计量或监测时,用质量流量计;需要对流量进行控制时,用质量流量控制器。某些测量场合,浮子流量计多少钱,用二者皆可,如对毛细管流通能力的测量,当定压测流的时候, 用质量流量计; 当定流测压时, 需要用质量流量控制器。注意, 当质量流量控制器处于清洗状态时, 也可以当质量流量计使用, 只不过气压降要比普通质量流量计大一些。

流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,涡轮流量计多少钱, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差低于值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa),山西流量计多少钱, 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。

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