真空设备检漏
听音法
气体从小孔中喷出时,会发出声音。声音的大小和频率取决于泄漏率的大小、两侧的压力、压差和气体的种类等。根据气体漏出时发出的声音判断有无泄漏。
该方法的灵敏度很大程度上受环境的影响。若工厂噪音较大,则小的声音就不易听清。使用听诊qi,某种程度上可以消除周围噪音的影响,听清泄漏声音,但有时与泄漏无关的声音(例如电机的声音)也会混杂进来,从而影响检漏灵敏度。为了辨别较小的声音,真空箱式氦测漏设备,可用话筒和放大器将声音放大。但此时其它声音也同时放大,多数情况下较难收到好的效果。在检测压力为0.3MPa,周围非常安静的条件下,可以听出5′10-2cm3/s的泄漏率的声音。
这种方法既简单、经济。使用听诊qi,在某种程度上可以判断出泄漏点。如单凭耳朵听,往往因声波的反射或吸收,很难确定泄漏点,即发声地点。由于检测环境条件不同,所得到的结果可能偏差很大。因此,这种方法的稳定性和可靠性很差。应与其它检测法并用。
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氢气检漏法的基本原理
氢气检漏法是一种用5%的氢气和95%的氮气的混合气作为示踪气体进行检漏,称作氢氮混合气检漏法,或氢气检漏法。5%氢气与95%氮气的混合气体是不可燃的(ISO10156),无毒性和腐蚀性,也不会对设备和环境产生不利影响。氢气作为检漏使用的示踪元素,有着很多的优点。
氢的分子量与氦气相近,是所有化学元素中分子量较轻的元素,板式换热器氦测漏设备,有很好的扩散性,逃逸性很强,吸附及粘滞性很低。由于氢分子移动速度要高于其他分子,因此使用安全的低浓度氢气作为示踪气体,高压柜氦测漏设备,可以有着更快的响应速度和更好的检漏精度。基本工作原理是使用专门开发的氢气传感器,它只对氢气有响应信号,而对其他气体没有响应,属于唯1性检漏性检漏方法。一旦出现信号响应,说明有氢气通过漏孔进入被检件中,从而指示漏孔的位置与大小。同时,由于氢气在一般环境中的含量浓度都非常低,所以不会因本底污染而导致误报警。
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氦质谱检漏仪:
1、氦气的质量轻,易于穿过漏孔,进入系统时流动和扩散快,因此响应快,检漏灵敏度高。
2、氦离子质荷比小,因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大,利于离子分离,可以适当降低对分析器制造精度的要求,使质谱室中氦离子通过的各个缝隙,从而提高氦离子的传输率。
3、氦在空气中及残余气体中的含量少,在材料出气中氦气也很少,因此本底压力小,检漏时本底信号小。
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