对于分装或总装,采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体,利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。对于体积较大的工件,采用背压发,按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦(含量30%)-氮混合气体,然后放入检漏罐中。漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。
对检漏方法的要求:稳定性好,即可以在足够长时间内灵敏度;所用“示踪气体”在空气中含量低,无毒,不腐蚀零件;氦质谱检漏主要领域:空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等;真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统;对于容积较小的部件,如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等,采用氦罩法被检工件抽空,检漏仪调到漏率(10-11Pa.m3/s),冰箱检漏,然后对氦罩冲氦。
检漏仪对示漏气体的要求:在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体,满足检漏灵敏度方面的要求,减少本底干扰检测的准确性。氦质谱检漏仪主要技术指标:1. 小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率显围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦气检漏仪可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯,极大降低氦气损耗(功能可选)。
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