流量控制器
怎样选择流量显示单位?
我们的流量显示仪一般提供三种流量显示单位,即百分比﹑SCCM﹑SLM。出厂前根据用户的要求设定。按百分比显示的方式,即是将 MFM / MFC 的流量测量值按其占满量程的百分比来显示,例如,规格为50SCCM的MFM/MFC,当显示值为80%时,实际的流量为40SCCM。对任何一种规格的MFM/MFC,满量程值都显示为100%。这种方式通用性好,可配不同量程的MFM/MFC,但不直观,有的用户不习惯。
按 SCCM或 SLM显示,出厂时对流量显示的范围与相应的MFM/MFC的量程进行匹配,使用时显示值即是流量值,很直观,符合习惯,转子流量计厂家,为多数用户所采用。 匹配好后,原则上也能接其它量程的MFM/MFC使用,只是显示值需要修正。
流量控制器的原理是什么?
质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。质量流量控制器的剖面结构图见图1。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,转子流量计报价, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。气体质量流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理。
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物理时间常数
物理时间常数用希腊字母Tau来表示,是现今为数不多的用来描述响应时间的标准之一,即:控制器到达设定值某个百分比所需要的时间,被定义为1-1/e, 其中e是作为自然对数底数的无理数,重庆转子流量计,其值为2.72,所以1-1/e即为设定值的63.2%。虽然该定义是一个物理标准,可能说明不了什么问题,因为余下的设定值的36.8%所花费的时间可能多于或少于之前的63.2%。从下面示波器截图中可以看到:ALICAT?质量流量控制器仅用了7.4毫秒便到达了设定值的63.2%。
任意设定值百分比变化区域
不少质量流量控制器的技术参数采用设定值某一百分比区间内的变化来定义设备响应速度,比如:从设定值的10%到达90%所需要的时间。由于和后的 10%控制响应曲线变化,由此而得出的控制响应速度可能无法与实际的控制性能等同。如下图所示,转子流量计哪家好,ALICAT?质量流量控制器用了11.4毫秒到达设定值, 从示波器波形图中可以清晰地观察到:50%那段跨度,低于10%和高于90%那两段的跨度则小了很多。就该图而言,如果按照从设定值10%到达90%所用的时间来定义设备响应速度的话,那么结论是6~7毫秒。
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