特气管道系统 Special Gas Pipeline System 是指SiH4,NF3,Cl2 等一些具有高危险性,应确保安全性的特气。公司提供从供气系统;排气处理、监视系统的综合管理系统;建立以安全为第i一的特气管理输送系统。提供设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务等整体解决方案。
特种气体是光电子、微电子等领域,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并从根本上制约着电路和器件的精i确性和准确性。
工程项目覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医i药、各类实验室、研究所、标准检测等高科技行业;为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案;逐步成为行业领i先的整体系统供应商。
高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU),为了达到工艺对气体的质量要求,真空管道安装哪家好,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,并在图纸中注明管道材质。
管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管,经电解拋光(Electro-Polish)处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,真空管道安装生产商,Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下,真空管道安装,其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking),则用于不做为供气管路的双套外管。
气体管道安装需要注意什么?
第i一,你所设工程的基本信息要尽量齐全,
例如,仪器的摆放位置,
仪器所要用到的气体,
仪器所用的气体压力,
流量方面的要求,所用仪器的进气口的配置情况,链接仪器的管线为多大。
第二,气体管路工程中很重要的是钢瓶间和管路的设计安装及各个辅助元件的选择和安装。
这些关系到你所要测验的物质的报告精度,
如果你要测验的物质报告要求只是个大概的就可以,
那么建议用国内的报告精度,
否则,必须选择国外的品牌,
因为国内的品牌对这一方面还处于刚开发起步阶段。第三、 气体管路工程安装中,
由于标准气体品种繁多,成分复杂,易i燃易i爆和有毒有害气体的泄漏,都可能产生事故,
因此室内安装报警器是实现安全生产的必要条件,安全生产,预防为主。
因此在气体管路安装过程中我们要注意腐蚀
1)湿气腐蚀 例如HCL、CL2在有水存在时很容易腐蚀钢瓶,
水分的引入可能来源于客户使用,没有关闭阀门,也可能在充装过程中或水压检验中;NH3、SO2、H2S也有类似的腐蚀。
即使是干燥的氯i化氢和氯i气,高浓度时也不能储存在铝合金气瓶中。
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