工业气体在使用上需要注意哪些事项
在使用一氧i化碳气体检测仪的时候要注意事项:
1、检查气体流量、通常为30/h,流量过大或者过小对分析仪结果影响较大
2、更换滤纸:停抽气泵,过滤罐排水
3、检查气路系统中有无漏气现象。抽泣泵膜片有无破损,取样探头密封圈是否破i裂,四通阀、冷凝汽是否损坏等
4、取样探头清洗,取样孔管路疏通
5、检查冷凝器工作是否正常,通常温度调整在3摄氏度范围内
6、检查测量器室看是否脏污,及时清洗。
1、气瓶安全附件完好齐全(包括橡皮圈、安全帽、压力表、阻火器、减压阀、易熔塞) , 胶皮软管必须完好无老化破损情况,与气瓶接口处应用卡子固定,以防滑脱。 2、氧气、乙i炔不能混合存放(二者应隔开或隔离放置,隔开距离 2 米以上) ,使用时距离 5 米以上,气瓶不可放置在距明火、高温部位较近的地方(距离 15 米以上) ,放置场所应阴 凉通风,并有防倾倒措施。 3、工业气瓶在搬运过程中,严禁在地上滚动,应用手旋转平移。装车时,气体管道安装直销,气瓶应该方向一 致,捆扎牢固。运输必须用危化车辆。氧气、乙i炔严禁混装运输。 4、在上部有动火和高温天气使用气瓶时,应用不燃物体遮盖,高温天气不能在阳光下长时 间曝晒,气瓶使用完毕后,须拆下减压阀、胶皮软管等设施,并戴上安全帽,然后按第 2 条要求放置。 5、乙i炔气瓶在使用时严禁平放在地上。 6、氧气瓶在储存使用过程中严禁接触油脂。 7、切割、焊接作业前,应清理周围易i燃物,以防引燃。 8、动火作业现场应设专人监护,并配置相应的消防灭火设施,如灭火器、水等。 9、存放(或存放过)易i燃易i爆危险品的容器、管线设备不能直接进行动火作业,应进行相 应处理或采用其他安全措施,确认安全后再进行动火作业。 10、在具有一定危险性的场所动火作业,气体管道安装生产商,用火单位应使用“用火许可证” ,在落实安全措施 后经负责人审批再进行施工。
气体管路施工技术要求及验收标准?
技术要求
(1)总体设计:管道采用1/4”外径,气体管道安装,经过AP处理的高等级洁净不锈钢管道。所有集中在气瓶柜的管路有适当的路径进入各实验桌,在使用仪器的附近接气体考克。
(2)管路设计、规划要点:
气体管路系统应具有良好的气密性,可靠性,可维护性。
1、气瓶阀出口为GB标准的外螺纹形式,为了便于管路系统与气瓶连接,故从气瓶阀出口到管道系统应设有转换接头(气瓶接头)。
2、为了方便更换气瓶,从上述气瓶接头到调节阀之间应设有耐高压的不锈钢螺旋管。
3、由于气瓶内部的气体压力为150Bar左右,使用点的压力较小,气体压力有变化,而且数值差距较大,故应在气瓶出口处设置一级减压阀(双表头)。
4、气路系统中应设有在紧急情况下能够快速切断供气的装置—开关阀,为了开关系统的方便和快捷,本项目中开关阀采用球阀。
5、为了保持气体的纯度及管道系统的气密性,所有管道采用进口316L不锈钢管道,内表面按规定处理。
6、管道与阀件的连接,管道与管道的连接应保证系统的气密性,同时要便于维修及更换阀件。
7、管道固定件要求坚固,轻巧,耐用。
各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(PN2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,气体管道安装哪里有,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(N2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(PH2)氢气(H2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氦气(He):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统:必要的还需做双套管:外管酸洗钝化(AP)处理,内管电解抛光(EP),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,工作的安全性大大提高。
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