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分子泵使用中，可能出现的故障，以下是故障原因及真空泵维修方法：

1、分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？

原因：附近有光照或其他热源

解决方法：避免光照或热源

2、分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？

原因：冷却不良，负载太大

解决方法：检查冷却系统，检查真空系统

ULVAC干式真空泵型号常见产品型号:

ULVACNRL180A干式真空泵

ULVACNRL90A干式真空泵

ULVACNRL60A干式真空泵

ULVACYM-RL-301A干式机组

ULVACYM-RL-302A干式机组

ULVACYM-RL-601A干式机组

ULVACYM-RL-602A干式机组

ULVACYM-RL-1201A干式机组

ULVACYM-RL-1202A干式机组

泵的传动方式

真空泵的两个转子是通过一对齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。1x10-2torr带fomblin1x10-2mbar/7。

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广州潽拓光电科技有限公司——ULVACNRL90A干式真空泵维修爱发科真空泵供应商

真空泵维修注意事项导致的结果就是，引起噪声和流量脉动，甚至对速度的稳定也产生了较大的fu面影响。还有，目前多数的变频器采用的是电压型逆变器供电，在低频的情况下，会引起强烈的振动和噪声，这些都是比例调速所凸显的问题，对日常的工作来说，具有较大的负mian影响。但变频调速在这个方面做了很大程度上的努力，就低速稳定性问题本身而言，并没有办法完全避免，但是如果在相关的技术领域进行革新，日常工作当中严加注意，相信可以处理好或者大限度的避免这类问题。

在多数情况下，变频调速系统在某一特定范围内才会出现系统运行不稳定的区域。主要是与电机参数和运行条件有关，控制好上述几个因素，就可以处理好低速稳定性问题。相对比例调速来说，变频调速更容易控制。爱发科真空泵供应商

涡轮分子泵的轴承由有油润滑的滚动轴承和滑动轴承向完全非接触式的空气轴承和磁轴承方向发展。转子的抽气单元有涡轮叶片、盘式叶片和牵引式螺旋槽结构。而且动、静叶片间的间隙很小，叶片很长刚性差。由于操作错误，突暴大气到泵中，使叶片损坏，因为受大气负载和离心力的作用开始弯曲振动，超过动、静叶片的间隙将会发生叶片相碰损坏事故。因而，高速旋转的转子系统遭到破坏时有发生，所以关于涡轮分子泵的安全使用问题，曾引起过涡轮分子泵的设计者和操作者的重视和研究，以使涡轮分子泵顺利推广应用与安全运行。

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广州潽拓光电科技有限公司——ULVACNRL90A干式真空泵维修ULVAC氦质谱检漏仪维修

维修爱发科分子泵系列：

ULVAC氦质谱检漏仪：

HELIOT 711、HELIOT 712、HELIOT 714、HELIOT ZERO

ULVAC真空泵油:

R-4、R-7、R-80、R-7000、R-7500、R-8000

分子泵叶片破碎的原因：

答：造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多，归纳起来主要是以下几点：

①、误操作;比如突然的破真空，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎。

②、是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，ULVACNRL90A干式真空泵维修，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入。ULVAC氦质谱检漏仪维修

3、分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？

原因：负载太大，系统真空度不够

解决方法：检查系统

4、分子泵轴承为什么会烧毁

原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘

解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘

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