各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(PN2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(N2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(PH2)氢气(H2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氦气(He):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统:必要的还需做双套管:外管酸洗钝化(AP)处理,内管电解抛光(EP),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲,实验室气体管道安装厂家,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,实验室气体管道安装怎么样,工作的安全性大大提高。
高纯气体管道工程的变温吸附法除水步骤有哪些?
1、用固体CaCl2除水,水份可降低至0.1%(体积)以下;
2、用硫酸洗涤除去高纯气体夹带的水份,为了除去高纯气体中的杂质水,资料表明工业上常用硫酸洗涤除去高纯气体夹带的水份。在保持过程佳工艺的理想条件下,水份可降至0.01%(体积)以下;
3、采用冷冻法来脱除高纯气体中水,可降到600~1000ppm,实验室气体管道安装价格,夏季水份还要更多些;
4、JMT型干燥剂是一种含硅i铝比的丝光沸石型分子筛,具有良好的热稳定性,除在300℃前有一脱水而引起明显吸热峰外,在900℃前无明显的分解峰,说明其晶格具有优良的稳定性。
实验室气路改造安全要求
1、乙i炔铜盐、乙i炔气和气瓶不得与铜或含铜量超过70%的合金接触。所有附件不得使用这些金属。
2、气瓶和仪器之间应该有一个安全瓶,以防止吸回瓶中的现象发生,并造成危险。
3、如果气瓶发热或发生回火,立即关闭气瓶阀门,将气瓶移出室外空矿坑,将气瓶浸入冷水中,实验室气体管道安装,或倒入大量冷水降温,慢慢打开阀门并继续冷却,直到气体释放。
4、乙i炔、氢气和液化石油i气是危险的。
5、氧气虽然不易i燃,但助燃性强,不得接触污物、有机物。
6、使用腐蚀性气体。气瓶和附件应经常检查。不用时不要把它们放在实验室里。
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