在10万级净化车间工程的集中或净化空调系统中,对风管的要求既经济又有效。前者要求价格低、施工方便、运行成本低、内表面光滑、阻力小。后者是指密封性好、不漏气、不产生粉尘、不积尘、无污染、防火、耐腐蚀和防潮。在100,000级净化车间项目车间安装电化和对讲机可以减少清洁区域的人员流动,减少产生的粉尘量。它还可以在发生火灾时及时与外界联系,为正常的工作接触创造条件。此外,10万级净化车间应设置火灾报警系统,防止火灾被外界轻易发现,造成重大经济损失。
净化工程缝隙密封截面应清理干净,密封嵌缝材料应选择不含刺激性挥发物、耐老化、抗腐蚀的中性材料,用于表面的应加抑菌剂;密封胶嵌固前,应将待密封沟槽内的杂质、油污清除干净,芯片净化车间装修设计,并保持表面干燥;不同装饰材料相接处采用弹性材料密封时,应预留其适当宽度和深度的槽口或缝隙,山东净化工程有防霉要求的场合不应用玻璃胶、硅胶类密封胶,应用中性密封胶,并应在密封胶中加入抑菌剂,涉及半导体或有耐碱要求的净化车间不应用硅密封胶。
净化空气调节体系如需电加热时,应选用管状电加热器,芯片净化车间安装,方位应安置在高效空气过滤器的上风侧,并应有防火安全办法。送风机可按净化空气调节体系的总送风量和总阻力值进行选择,铜陵芯片净化车间,中效、高效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。净化车间中净化空气调节体系除直流式体系和设置值班风机的体系外,应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒办法。净化车间空气调节体系设计应合理使用回风,凡工艺进程发生大量有害物质且部分处理不能满意卫生要求,或对其他工序有危害时,则不应用回风。
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