潽拓光电-阳江pfeiffer真空泵

广州潽拓光电科技有限公司——pfeiffer真空泵复合分子真空泵

泵不启动

  原因有：1、电源故障、可参照电源说明书

          2、连接电缆不通，用电表查连接电缆，并检查和使插座接触良好。

九、长时间启动仍达不到额定转速或停转

原因：1、系统有漏2、前级压强过高3、转向有误4、润滑油失效5、轴承损坏

正确的使用气镇

有些工艺本身就会产生大量的水蒸气，比如真空干燥，真空冷冻干燥等，而真空腔体的内壁也会吸附水分（特别是在潮湿的季节），这些水分在真空下会汽化形成大量的水蒸气。水蒸气在真空泵内被压缩后，将会凝结成液态水并积存在泵内，造成泵油乳化、轴封漏油、内部生锈、噪音增大、极限真空变差等问题。避免水蒸气冷凝需要用到气镇。气镇起到向真空泵内掺气的作用，当气镇口打开时，吸入外部干燥气体以稀释泵内水蒸气，从而避免水蒸气凝结。对于水汽含量较大的应用，建议一直打开气镇；对于要求极限真空或者水汽含量较小的应用，可以在需要排水时让泵带气镇持续运行约1个小时，然后重新将气镇口关闭

在复合分子真空泵的设计中，必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积，抽速很大，pfeiffer真空泵无法启动，而牵引级沟槽抽气面积较小，在两种结构的联接处，由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变，使气体分子的运动在联接处由有序变成无序，至使返流增加，抽气能力下降。因此，在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构，以提高泵的抽气性能。

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单级双吸泵真空泵和普通的水泵作用一样，其特点是把旋转水环当做活塞来改变泵腔的容积，以达到吸气、压缩和排气的目的。它的零部件包括转子叶轮、泵壳、端板、阀片、轴承、进排气口、进口单向阀、轴端密封等。通常情况下，轴端是密封的，是利用带水封环的填料进行密封处理的，其中密封水是通过端板上的孔道导入导水封环位置的。哪里有修真空泵的

PFEIFFER TMH071 P涡轮分子泵大量用于PFEIFFER、Agilent（VARIAN）、 Ulvac、INFICON、VST、ABI、SHIMADZU等分析设备及氦检仪中分析仪器如氦质谱检漏仪，及小型分子泵组中。德国普发PFEIFFER TMH071 P分子泵进气法兰口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F，阳江pfeiffer真空泵，出气法兰口DN16ISO-KF，抽速可达到60L/s， 转速为90000rpm，极限真空＜1*10E8mBAR; 对应的控制器为PFEIFFER TC600.

当今，现代化的半导体行业中，越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜，pfeiffer真空泵返油处理，表面分析仪器，残余气体分析仪及氦质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外，在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。因此，z近十几年来，涡轮分子泵，pfeiffer真空泵过热，在国内、外都得到了显着的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下，有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此，针对这种现状，对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。

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广州潽拓光电科技有限公司——pfeiffer真空泵普发分子泵组

真空泵的共同特性

挑选真空泵需求考虑型号，原料，驱动方式，用处，类型，功能，泵轴位置，真空度等多方面因素，比如原料有铸铁，铸铝，铸钢，铝合金，不锈钢等；类型有气体捕集泵，气体传输泵，真空泵等；用处有真空泵，增压泵，化工泵，抽真空等。

PFEIFFER Hipace系列分子泵适用领域：

1.真空冶金（真空焊接、真空烧结、真空合金、真空炉等）

2.泄漏检测（真空系统、机车燃料箱、安全气囊、真空包装行业）

3.科研设施（核粒子物理学、核聚变研究、激光应用等）

4.光学/玻璃行业（隔热保护、防反射、反射、滤光镜镀膜等）

5.真空镀膜技术（表面保护、装饰土层、显示技术、屏幕等）

涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 1500 对各种气体均有高抽吸能力， 高工艺适用性， 防止进入颗粒. 集成驱动电路， 适用于工业环境， 通过保护等级 IP54. 带有气体密封阀 24 V DC 的集成型气体密封系统. 涡轮分子泵 HiPace 1500 搭配控制器 TC 1200， 通讯接口 RS-485， 远程遥控（Profibus/DeviceNet 型号供选择）， 多种配件供客户选择.

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