氦气是较轻的惰性气体,在喷出时会自动上升,为了准确找到漏孔位置喷氦,使用此方法时喷氦自上而下,由近至远(相对检漏仪的位置),这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入;质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。常用的传统气体管道检漏方法,如气泡法和肥皂法在化工厂等有害气体的管道检漏不实用,检测到微漏的氦质谱检漏仪成为了化工厂安全生产作业的保障。
氦质谱检漏主要领域:冶金——真空电炉;低温与压力容器——液氮和液氦储存罐、生物制品容器及各类压力容器;轻工产品——保温杯、太阳能集热管、饮料罐口等。氦质谱检漏主要领域:电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统;电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路;氦质谱检漏主要领域:原子能工业——气体扩散处理系统;高能物理研究院——及其配件;
对于分装或总装,采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体,利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。对于体积较大的工件,采用背压发,家电行业检漏设备,按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦(含量30%)-氮混合气体,然后放入检漏罐中。漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。
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