注意事项
除了做实验外,不要停留在高温炉管区。实验工作完毕时,若无人继续使用,请关特殊气体,保留N2流动,并查看是否有其它电源该关而没有关、煮酸用的小电炉或其它,请随手关掉。处理HF时,请戴手套,如不小心碰到HF时,请立刻冲水,用葡萄酸钙加2%之水,揉擦伤处15'。石英玻璃制品请小心使用,以免断裂,引起严重割伤。避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。qing化钾(KCN)不可与酸类混置,因两者可产生剧i毒之KCN气体。一旦发现有妨碍安全之事物时,请立即通知有关人员(技术员等)。请节约纯水用量。破晶片、滤纸、棉花棒,请勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板渍水。长短推杆之前端,在还没使用到时,请朝上以免污染。晶片进出炉口时,锂电负极材料烧结炉回转炉,请勿碰触炉管口,以免污染炉管。
正确使用箱式炉维修规范操作,较高温度1200℃不能长时间使用,避免过热,过载运行,严禁防止高温突然升高和断电淬火,以免损坏炉子和电热丝。室内使用,环境温度为-10~40°C,周围环境不含导电灰尘,易i燃易i爆物品和气体,以及严重损坏金属的腐蚀性气体,环境的相对湿度不超过85%RH,没有振动和颠簸定期检查电路系统连接的接触是否良好。
高温炉洗炉步骤: 1.使用保护气体驱除炉内空气: (1)在电炉预热之前,一般应将保护气体引入炉内; (2)保护气体可以通过上,下和后洗涤炉口。 排气口的针阀应打开大尺寸,以便尽快的排出炉内空气; (3)通常,将约10倍体积炉的保护气体引入炉内,使炉内的氧浓度降至约10ppm; (4)当炉内氧气浓度满足产品工艺要求时,可关闭排气口针阀,节约保护气体,关闭炉口,进气口用于通过流量计进入 ; (5)在使用电炉的过程中,须在炉内保持正压,以防止外部空气进入炉内。
2.真空泵预真空方式: (1)将任何一个出风口连接到真空软管; (2)预先清空炉腔; (3)获得保护气体; (4)对炉腔进行预真空。
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