特种气体分类:标准气体严格意义上应称为标准校正气体,特种气体,是一种高度均匀, 稳定性良好和量值准确的气体,可分为单元标准气体和多元标准气体,目前标准气基本 满足了我国石油、化工、环保、传感器校核等诸多领域的需求,特种标准气体严格意义上应称为标准校正气体,是一种高度均匀,稳定性良好和量值准确的气体,它可以是单一的纯气体或高纯气体,也可以是由多组分气体配制而成的混合气体。标准气体属于标准物质之一,工业特种气体,故又称为气体标准物质。特种气体在集成电路领域的应用:特种气体是半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑材料,处于半导体产业链的 上游,特种气体价格,被称为半导体的“源”,主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。
特种气体是指那些在特定领域中应用的,对气体有特殊要求的纯气,高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。作为基础化工材料,特种气体随着新产品技术的发展,应用范围越来越广泛。电子特种气体种类多,应用领域广泛。 电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为 5%~6%,但是由于其品种繁多,在半导体制程工艺中覆盖广泛,因此成为衡量半导体技术的产品。特种气体是电子工业,特别是大规模集成电路制造不可缺少的材料气体,该产业的发展应与集成电路产业发展同步或超前。特种气体的纯度朝高纯的方向发展是特种气体产业的一个必然方向,这就要求特种气体的分离技术不断进步以满足纯度的要求。
气体产品大致可以分为两大类别, 即一般工业气体和特种气体。一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。工业上,把常温常压下呈气态的产品统称为气体产品.气体产品种类繁多,特种气体销售,大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类.一般工业气体产销量大,但对纯度要求不高.特种气体产销量虽小,但根据不同的用途。包装标志:有毒气体。常温下,干氯不腐 蚀钢{但在水和湿气存在时,由于生成盐酸和次氯酸。所以呈强腐蚀性应保持设备中无 水,管路、阀门和容器不用时应密封或加帽,从而与大气中的湿气隔离
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