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表征压力控制仪的主要技术指标是压力控制范围、控制精度、流量控制范围、反应时间等。它取决于其配用的真空规管、控制电路及真空调节阀的性能。压力控制仪广泛应用于离子注入、离子束刻蚀、真空镀膜、激光技术及半导体材料等领域,其使用的环境条件与同类型的真空计大致相同。英福康真空计保养
皮拉尼型真空计利用惠斯通电桥 Wheatstone bridge 的补偿原理,其中的一灯丝作为该电路的其中一个电阻。当灯丝所在的气体分子密度改变时,其热导率会有所不同,因此灯丝所表现的温度也会不同,间接影响电阻值的大小。固定电压,固定电流以及固定温度中以*后一种方法做敏感。值得注意的是,不同气体的热导率不同,因此在测量的时候要刻度上需要校对。英福康真空计保养
2. 衍生出两种类型的皮拉尼规
1) 稳定温度,测量施加的电压变化等效测量真空度
2) 稳定电压,测量温度变化等效测量真空度(热偶规)
3. 气体的热传导,与下列提条件有关:
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压电阀是利用压电效应制成的一种真空气体流量调节阀。压电阀的部件是由压电陶瓷制成的具有压电特性的膜片。当在压电陶瓷膜片上施加一控制电压时,英福康分子泵维修保养费用,它将会产生正比于外加电压值大小的变形。同时,带动密封垫移动。于是压电阀流导产生变化,从而改变气体通过压电阀的流量。英福康真空计维修保养
当压电陶瓷膜片上未施加控制电压时,由于弹簧的机械力作用在压电陶瓷膜片和密封垫上,使压电阀气路关闭。因而,可以通过改变施加在压电陶瓷膜片上的控制电压的大小,来改变压电阀的流导,从而改变流过压电阀的气体流量。于是,可实现真空装置的真空室中的真空度调节。英福康真空计维修保养
电容薄膜真空计
属弹性元件真空计,弹性薄膜将规管真空室分为两个小室,即参考压强室和测量室。测量低压强 (P
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电容薄膜规:它的原理是利用真空压力,萝岗区英福康分子泵维修,压力使膜片变形,变形量与压力大小成比例关系,英福康分子泵维修修复,通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量来测量真空度。这种真空计能在严酷和腐蚀性环境中,提供稳定*靠的高精度压强测量,它具有快速的预热和恢复时间,*越的长期稳定性、再现性和重复性,对环境条件变化的敏感度降低。
电容薄膜规一般用在要求比较高的、*确而快速的测量,如刻蚀、半导体等。
长时间使用引起真空泵的旋片磨损或转子内的弹簧张力不足,导致吸气室和排气室隔离不严,从而引起真空泵的抽真空性能下降,这时应当更换旋片和弹簧,并清洗转子和泵腔;检查排气阀门,观看其动作是否失灵,导致排气不畅,必要时应更换排气阀门。皮拉尼真空计维修
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