流量控制器的应用中IST流量传感器的作用
IST-AG通过特殊的薄膜工艺,将高精度加热器,气体流量计哪家好,温度传感器或电堆封装在单一芯片内,构成流量测量的主要传感单元(Figure 2) ,通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景,薄膜技术的应用使得IST AG流量传感器具有很好的结构与性能优势。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。
IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器,用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则,确定流体的流率.随着流体通过传感器,热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加,进口气体质量流量计哪家好,热量被传递.通过了解媒体的温度,即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。
而IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中,气体热质量流量计哪家好,免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护,具有较佳的长期稳定性。
因此在终端应用中,质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。MFC 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降,甚至会损坏整个晶圆。采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:
1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路,而进行直接测量,提高测量的准确性。
2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度,在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。
3、小巧的体积与简单的安装方式,给气路结构优化创造更大的空间。
流量控制器使用注意事项介绍
在使用热式气体质量流量控制器是应注意,额定电源电压为24VDC,功率与量程无关。电压或功率不足可能影响设备工作,如果电源针脚接错可能导致电路板烧坏,无法通讯,请勿在气源关闭的情况下打开控制器设定值,否则阀门会持续发热,影响寿命。本公司的气体质量流量控制器在上游或下游安装时,都没有直管段的要求,可以任意位置安装或倒置安装。
热式气体质量流量控制器与流量计对安装方向的要求
厚礼博生产的AC系列、DC系列以及BDD系列的热式气体质量流量控制器/流量计能满足市面上大多数用户的使用需求,具有体积小,数字化程度高,安装方便,响应速度快,测量准确等优点,能直接测量和控制介质的质量流量,广州流量计哪家好,无须温压补偿;设计、选型、安装、使用方便简便,适合各类单一或混合气体流量测量。
热式气体质量流量控制器MFC为Mass Flow Controller的缩写,即质量流量控制器,是带有控制气体质量流量的装置。热式气体质量流量计MFM为Mass Flow Meter的缩写,即质量流量计是不具有控制气体质量流量功能的装置,热式气体质量流量计是用于测量和控制气体质量流量的新型仪表。可用于石油、化工、钢铁、冶金、电力、轻工、环保等工业部门的空气、烃类气体、可燃性气体、烟道气体的监测。
随着生产技术的日益发展和进步,本公司生产的热式气体质量流量控制器与流量计在安装的时候,对安装方向已无特定要求,可任意方向位置安装,如果用户订货时注明安装位置,我公司可依此标定后出厂。
AC系列、DC系列、BDD系列的气体质量流量控制器和质量流量计产品的正常工作压力范围可选:3MPa、5MPa、10Mpa,产品精度优于±1%F.S,响应速度优于2秒且流量值稳定速度也是极快的。阀体过流材质均选用品质良好的316L不锈钢。供电方式为+15V—24V的宽频供电,能满足市面上绝大多数用户的使用要求和使用习惯。DB9针的电气接头,也方便了用户在使用时的拆装。
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