洁净系统方案:系统流程:新风经过滤后与回风混合,进入风冷空调机,通过中效过滤器,经末端低阻力高效过滤器后将符合温湿度、洁净度要求的空气送入洁净室。气流组织:1万级间全部采用上送两侧回风,车间内利用柱位、侧墙做技术夹层回风道,接回风管道至空气处理机组。空气经粗、中高三级过滤器和温湿度处理后送入净房。新风系统进行组、中、二级过滤,以确保空气的含尘浓度较低,集成电路净化车间工程,减少外部尘源影响,提高洁净室的净化效果,并大大延长高效过滤器的使用寿命,减少运行维护费用。新风量根据人员卫生新风要求(每人新风量>35m3/h),并保证洁净室内正压的要求经计算确定。(人员在20人以内)。系统排风:有设备排风及工艺要求的房间排风,微生物净化车间工程,此系统由甲方确定方案。
由于技术原因和制造工序的复杂程度高,集成电路制造是对洁净度整体要求高的行业。集成电路由于技术的复杂程度与日俱增,对于空气洁净度的要求也越来越高,重要工艺区需保持1-4级的洁净度。而其他大部分行业比如食品制造,药品,医学等行业对洁净度的要求大多在5-9级,远低于集成电路和新型显示对洁净度的要求。随着技术的进步,集成电路对洁净度的要求越来越高。
电子工业既是智力密集型产业,也是劳动力密集型产业。伴随着经济的发展,净化车间工程,电子工业经历了多次产业转移。在第二次产业转移过程中,光电显示净化车间工程,产品的生产主要集中在美国、德国、日本、韩国、我国台湾等发达国家或地区,从 2000 年开始逐渐向我国大陆地区转移,随着国民经济水平的逐步提高,电子工业在国内开始蓬勃发展。在建 OLED和高世代 LCD 产线中国占比一半。
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