高纯氩气的制备方法
高纯氩气的制备方法主要包括深冷分馏法、合金吸气法和催化脱氧分子筛脱水结合合金吸气法。
深冷分馏法通过多级冷却和分离技术,从空气中提取高纯氩气,适用于大规模生产。
合金吸气法利用吸气剂吸收杂质,适用于高纯度要求的深度净化。
催化脱氧分子筛脱水结合合金吸气法则需要进行初级净化,再用吸气剂深度净化,适用于不同纯度等级的氩气制备。
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高纯氩气在哪些高科技领域有重要应用?
高纯氩气在诸多高科技领域发挥关键作用。
在半导体制造中,它是一种重要的保护气体。在芯片制造的光刻、刻蚀等工艺过程中,高纯氩气能防止芯片材料与氧气等发生反应,确保高精度加工。例如,在12英寸晶圆的制造过程中,氩气可提供稳定的加工环境。
在光纤制造领域,高纯氩气用于光纤拉丝过程。通过营造无氧环境,避免光纤材料氧化,提高光纤的质量和性能,保障光信号的快速传输。同时,在一些材料的真空镀膜工艺中,高纯氩气作为载气,帮助材料均匀地沉积在基底上,用于制造性能好的光学薄膜等。
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高纯氩气的特性
高纯氩气是一种无色、无味、无毒的惰性气体,具有化学性质极不活泼的特点。其相对密度和液体密度均较高,沸点为-185.9℃,熔点为-189.2℃。
高纯氩气不易与其他物质发生化学反应,稳定性好,因此被广泛应用于需要惰性气体保护的场合,如半导体生产、焊接、冶金等领域。同时,高纯氩气还具有高热导率和低表面张力等物理特性。
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