氦质谱检漏仪为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体,但也有用氢气(H)作为示漏气体的,考虑到它的化学性质及危险性,在应用中较少使用,所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦气检漏仪特有的清氦系统,快速有效地清除超标的氦本底,保证检测的稳定性和准确性;实时监测氦气压力和浓度,保证了工件检测的精度;
仪器工作在稳定的状态,在仪器的检漏口喷一定量的氦气, 分别采取持续抽、空气清氦、氮气清氦的清氦方式,仪器再按开始键,记录清氦所需时间。而通过实验表明,利用氮气来清氦的效率是高的。鉴于仪器在检漏的过程中氮气清氦的性,对仪器的系统进行改进。增加清氦电磁阀。在氦质谱检漏仪中增加氮气清洗设置,有效的避免了在检漏过程中,氦气残留对仪器检测灵敏度的影响,另外仪器控制中还可以增加大漏保护设置,即仪器在检测到大漏时,仪器自动停止,防止大量氦气再进入仪器中。再者将前级泵换成干泵也是不错的选择,利于对仪器的清氦,保证仪器检测的高灵敏度。
氦气是较轻的惰性气体,在喷出时会自动上升,为了准确找到漏孔位置喷氦,空调压缩机检漏,使用此方法时喷氦自上而下,由近至远(相对检漏仪的位置),这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入;质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。常用的传统气体管道检漏方法,如气泡法和肥皂法在化工厂等有害气体的管道检漏不实用,检测到微漏的氦质谱检漏仪成为了化工厂安全生产作业的保障。
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