广州潽拓光电科技有限公司——爱德华分子泵
XDS 泵的设计极具创新性,广东爱德华分子泵,采用轴承屏蔽将真空环境与所有形式的润滑剂隔离开来,使之不仅完全干燥,而且完全密封。该屏蔽还能保护轴承免受任何制程蒸汽的影响。
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Edwards STPA1603C英国爱德华磁悬浮分子泵维修
小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵采用Edwards的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能,满足zui新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间,而其的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C已经在zui新的200mm刻蚀工具上得到了证明,也能够满足新一代300mm氧化物腐蚀制程的需要。
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功能和优势
通过板上智能控制可以降低运行功耗,减少运行成本。此外,这种控制器还增加了电子制动、智能冷却风扇和自动排气选件。与 Edwards TIC 涡轮与仪表控制器兼容意味着您可以添加一个或多个真空计而不需要额外的显示控制器。并行或串行接口。并行模式允许使用传统控制信号界面。
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