其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,工业氦气,其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。
在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用;在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。
电子气体
电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,氦气报价,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投人、高附加值的高新技术产业 电子气体的应用领域主要在半导体集成电路生产制造、非晶硅太阳能电池、液晶显 示器件、光导纤维生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产。 半导体工业用气体的特点是品种多、质量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蚀性气体。
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